（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201510732685.3 （22）申请日 2015.11.03
（71）申请人 苏州市晶协高新电子材料有限公司
地址 215151 江苏省苏州市高新技术产业开发区浒墅关工业园内
（10）申请公布号 CN105424684A
（43）申请公布日 2016.03.23
（72）发明人 刘鸣;刘利娟;孙宇亮
（74）专利代理机构 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)
代理人 朱小杰
（51）Int.CI
G01N21/78;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种ITO蚀刻液中盐酸与三氯化铁含量的测定方法
（57）摘要
本发明公开了一种ITO蚀刻液中盐酸与三
氯化铁含量的测定方法，首先测定出三氯化铁含量，计算出样品中三氯化铁的质量分数；然后在测定盐酸的含量时，使用离心机来分离反应产生的氢氧化铁沉淀，配合动态pH滴定仪的电极信号的变化曲线对滴定终点的预判，能够精确测量出ITO蚀刻液样品中的盐酸含量，同时可以对ITO蚀刻液样品在线实时取样，滴定实验采用自动滴
定仪进行滴定，可以随时取样，检测速度快，能实时反馈盐酸浓度，完全可以满足在线检测和控制的要求。
法律状态
法律状态公告日
2016-03-23 2016-03-23 2016-04-20 2016-04-20 2018-04-10
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
法律状态
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
权利要求说明书
一种ITO蚀刻液中盐酸与三氯化铁含量的测定方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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