专利名称：一种自动晶圆转换机台专利类型：实用新型专利
发明人：赵玉会,翁佩雪,吴恋伟,邓丹丹,林锦伟,林伟铭申请号：CN201921823689.2申请日：20191028公开号：CN210535644U公开日：20200515
摘要：本实用新型公布了一种自动转换台，所述自动转换台包括：工作平台、真空吸盘、真空装置、真空吸盘伸缩机构和抓取装置，所述工作平台的表面设置有真空口，所述真空口贯穿所述工作平台，所述真空口通过管道连接所述真空装置，所述工作平台的正上方设置有所述真空吸盘，所述真空吸盘通过管道与所述真空装置连接，所述真空吸盘上设置有吸嘴，所述真空吸盘伸缩机构的伸缩端与所述真空吸盘固定连接，所述抓取装置设置在所述工作平台的一侧。使用真空装置及真空吸盘分离PCB板和晶圆，真空吸盘上具有吸嘴能够吸附晶圆，使分离过程中的晶圆的受力均匀，不会损减薄后的晶圆；其次机械作业使整个碳化硅板和印刷电路板的转换效率更高。
申请人：福建省福联集成电路有限公司
地址：351117 福建省莆田市涵江区江口镇赤港涵新路3688号
国籍：CN
代理机构：福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)
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