专利名称：两工位晶圆预对准装置专利类型：发明专利
发明人：曲道奎,何以刚,张鹏,温燕修,王富刚,冯亚磊申请号：CN201210445383.4申请日：20121108公开号：CN103811388A公开日：20140521
摘要：本发明公开了一种两工位晶圆预对准装置，其包括机座、卡爪组件、撑托组件及传感器，所述的机座内设有驱动装置，所述的驱动装置带动所述的卡爪组件转动或作升降运动，所述的撑托组件及传感器设于所述的机座上，所述的撑托组件至少两个，每个撑托组件包括有两个撑托接触单元，所述的两个撑托接触单元分为两层设置。与现有相比，首先，撑托组件的双层设置，使晶圆可以在上下两个工位处被预对准，提高效率；其次，简化设备结构，减少驱动。
申请人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司
地址：110168 辽宁省沈阳市浑南新区金辉街16号
国籍：CN
代理机构：沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人：许宗富
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