专利名称:TFT阵列基板及TFT阵列基板的制作方法专利类型:发明专利发明人:王威
申请号:CN201711201198.X申请日:20171127公开号:CN108010918A公开日:20180508
摘要:本发明提供了一种TFT阵列基板及一种TFT阵列基板的制作方法,包括:基板、遮光层、绝缘层、多晶硅层、栅极绝缘层、栅极金属、隔离层以及金属数据线;其中所述栅极金属包括并列设置的第一栅极金属和第二栅极金属;所述金属数据线分别与第一过孔和第二过孔相连,所述金属数据线通过第一过孔与所述第一栅极金属相连;所述金属数据线通过第二过孔与所述多晶硅层相连。本发明提供了一种TFT阵列基板及一种TFT阵列基板的制作方法,通过在栅极绝缘层上增设一栅极金属,使得金属数据线与所述栅极金属通过栅极金属上方两侧的过孔相连,从而避免由于金属数据线成膜时发生断线导致TFT阵列基板发生垂直断线的问题,进而大幅度提高了TFT阵列基板的生产良率。
申请人:武汉华星光电技术有限公司
地址:430079 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋
国籍:CN
代理机构:深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)
代理人:黄威
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