专利名称：多针顶出装置专利类型：发明专利
发明人：吕文镕,黄朝显,黄国钟,林宏毅,张瀛方申请号：CN200410068644.0申请日：20040903公开号：CN1744294A公开日：20060308
摘要：一种多针顶出装置包含两组伺服驱动装置，一组用于顶针座驱动装置，另一组用于顶推顶针的驱动装置。该顶针座驱动装置驱动该顶针座的升降，除便于搭配的晶片工作平台运动外，亦确保晶粒取出时，胶膜与本装置接合处能紧密贴着；该驱动装置驱动顶针升降，造成该晶粒与该胶膜的分离。此外，该多针顶出装置可分别选取所需顶针进行工作，单一顶针搭配其驱动装置，可选择此顶针是否进行顶出工作。通过上述功能，该多针顶出装置可选择特定的顶针，配合该顶针座的升降而令该胶膜紧密贴着，再由该驱动装置驱动顶针，以达到多针顶出的功能。
申请人：财团法人工业技术研究院
地址：台湾省新竹县
国籍：CN
代理机构：隆天国际知识产权代理有限公司
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