专利名称：工件的加工装置专利类型：发明专利
发明人：安田太一,佐佐木正直申请号：CN201680029025.1申请日：20160325公开号：CN107614199A公开日：20180119
摘要：一种工件的加工装置，包含于外周面在轴方向上形成至少一个第一沟槽的在旋转轴周围得以旋转的中心滚筒、具有供加工工件插入支承的支承孔的载体、将支承工件的载体夹住的状态下而于旋转轴周围得以旋转的上定盘与下定盘、被装设于上定盘的内周部且插入第一沟槽的尖端部得以沿着第一沟槽移动的至少一个挂钩，其中中心滚筒更具有于外周面在轴方向上形成的至少一个第二沟槽，以及第二沟槽具有与第一沟槽为相异的长度，上定盘具有在相较于进行该工件的加工位置为更上方的位置并且自下方支承该挂钩的支承面。
申请人：信越半导体株式会社
地址：日本东京都千代田区大手町二丁目2番1号
国籍：JP
代理机构：北京京万通知识产权代理有限公司
代理人：许天易
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