（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201811013535.7 （22）申请日 2018.08.31 （71）申请人 天津大学
地址 300072 天津市南开区卫津路92号
（10）申请公布号 CN109163662A
（43）申请公布日 2019.01.08
（72）发明人 段发阶;傅骁;黄婷婷;马凌;张聪;程沁蕊 （74）专利代理机构 天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人 刘国威
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
基于波长扫描的光谱共焦位移测量方法及装置
（57）摘要
本发明属于光电测量领域，为实现非接触
位移精密测量，同时测量精度高、快速、易操作，本发明，一种基于波长扫描的光谱共焦位移测量装置，包括如下部分：波长扫描光源、输入光纤、光纤耦合器、针孔、色散物镜、输出光纤、光电探测器，波长扫描光源输出单色光，波长在上下限波长范围内来回扫描，光源发出的单色光耦合进输入光纤，输入光纤接入光纤耦合器，光纤耦合器输出至针孔形成点光源，单色光
通过色散物镜汇聚至光轴上某一焦点处，在波长扫描过程中不同波长的单色光可形成一系列焦点，在特定时刻，某单色光的焦点恰好与待测表面重合，焦点处的反射光经光电探测器转换为电压信号。本发明主要应用于光电测量场合。
法律状态
法律状态公告日
2019-01-08 2019-01-08 2019-02-01
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效
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权利要求说明书
基于波长扫描的光谱共焦位移测量方法及装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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