专利名称：一种显影液组合物专利类型：发明专利
发明人：刘江华,付元涛,章小琴申请号：CN201910800235.1申请日：20190828公开号：CN110658697A公开日：20200107
摘要：一种显影液组合物，属于功能性微电子材料领域，按重量百分比计，由以下组分组成：无机碱0.1‑25％、高纯水30‑98.9％、式I结构的阴离子表面活性剂1‑45％，其中，R＝CH；R＝H或CH；n为1～50，M＝Na、或K、或NH、或Mg、或Al。本发明的高浓度显影液原液含有特殊结构的阴离子表面活性剂，具有无残渣，显影图形精度高等特点。
申请人：华璞微电子科技(宁波)有限公司
地址：315500 浙江省宁波市奉化区东畈路14号
国籍：CN
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