一种反极性AlGaInP红光LED管芯结构及其制作方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201910086331.4 （22）申请日 2019.01.29

（71）申请人 山东浪潮华光光电子股份有限公司

地址 261061 山东省潍坊市高新区金马路9号

（10）申请公布号 CN111490136A

（43）申请公布日 2020.08.04

（72）发明人 徐晓强;张兆喜;吴向龙;闫宝华;王成新 （74）专利代理机构 济南金迪知识产权代理有限公司

代理人 许德山

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种反极性AlGaInP红光LED管芯结构及其制作方法

（57）摘要

本发明涉及一种反极性AlGaInP红光LED

管芯结构及其制作方法，属于半导体加工技术领域，包括以下具体步骤：(1)晶片键合；(2)衬底去除；(3)扩展电极制作；(4)粗化层制作；(5)ITO粘附层制作；(6)主电极制作；(7)保护层制作；(8)管芯制作。本发明通过薄ITO膜层的制作，增强了金属主电极与ITO之间的粘附牢固度，实现了焊线良率的大幅度提升，通过薄ITO+SiO2膜层的制作，降低了界面全反射，增加

了管芯出光效率，整个制作过程原理简单，使用工艺方法简便；通过本发明方法制作出的管芯，整体质量稳定，良率较高，整体稳定性好，本方法适用于所有反极性AlGaInP基红光LED芯片的制作工艺。

法律状态

法律状态公告日

2020-08-04 2020-08-04 2020-08-28

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

法律状态

公开 公开

实质审查的生效

权利要求说明书

一种反极性AlGaInP红光LED管芯结构及其制作方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

一种反极性AlGaInP红光LED管芯结构及其制作方法的说明书内容是....请下载后查看