（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201180004844.8 （22）申请日 2011.05.12
（71）申请人 JX日矿日石金属株式会社
地址 日本东京都
（10）申请公布号 CN102652185A
（43）申请公布日 2012.08.29
（72）发明人 前川贵诚;远藤瑶辅
（74）专利代理机构 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
代理人 张淑珍
（51）Int.CI
C23C14/34;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
铟靶材及其制造方法
（57）摘要
本发明提供一种可良好地抑制异常放电产
生的铟靶材及其制造方法。该铟靶材的靶材表面的算术平均粗糙度（Ra）为1.6μm以下。
法律状态
法律状态公告日
2012-08-29 2012-10-17
公开
实质审查的生效
法律状态信息
公开
法律状态
实质审查的生效
法律状态公告日
2016-11-09
法律状态信息
发明专利申请公布后的驳回
法律状态
发明专利申请公布后的驳回
权利要求说明书
铟靶材及其制造方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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