专利名称：一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒专利类型：实用新型专利发明人：李留臣
申请号：CN201020632875.0申请日：20101130公开号：CN201890951U公开日：20110706
摘要：本实用新型公开了一种直拉式硅单晶生长炉用导流筒，包括导流筒本体，导流筒本体为上大下小的锥形筒状结构，导流筒本体的下端部呈环状分布均匀开有多个分流槽。本实用新型直拉式硅单晶生长炉用导流筒结构简单，设计合理，使用安全，能有效提高硅单晶的生长效率，可广泛适用于直拉式硅单晶生长设备中。
申请人：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司
地址：213200 江苏省常州市金坛市华城路318号
国籍：CN
代理机构：西安弘理专利事务所
代理人：罗笛
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