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连续直拉单晶炉

2020-04-22 来源:小侦探旅游网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)实用新型专利

(21)申请号 CN201120575286.8 (22)申请日 2011.12.31

(71)申请人 宁波科论太阳能有限公司

地址 315111 浙江省宁波市鄞州区五乡镇工业园区(宁波科论太阳能有限公司)

(10)申请公布号 CN202401161U

(43)申请公布日 2012.08.29

(72)发明人 钟平

(74)专利代理机构 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙)

代理人 唐迅

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

连续直拉单晶炉

(57)摘要

本实用新型公开了一种连续直拉单晶

炉,包括副室、热屏和炉腔,其中在炉腔中设有热屏支撑板、保温层、加热器、石英坩埚、石墨坩埚和排气口,所述石英坩埚中设有硅熔体,在硅熔体上方设有一两端开口的罩体,罩体上端与副室连接,罩体下端开口与硅熔体液面保持一段距离,其特征是所述热屏包括断热材、热屏罩和反射板,热屏罩覆盖于断热材的外侧,断热材的内侧设有反射板,反射板环绕硅晶棒,反射板与断热材之间无缝隙,在热屏上方两侧各设有一导流

管,所述导流管形成倒圆台的结构,在石英坩埚与石墨坩埚之间设有石墨纸。本实用新型得到的连续直拉单晶炉,整体设计结构合理、简单,提高产品拉晶速度及浓度,延长石墨坩埚的使用寿命,降低了成本及功耗。 法律状态

法律状态公告日2012-08-29 2016-02-24

法律状态信息

授权 专利权的终止

法律状态

授权

专利权的终止

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说明书

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