(12)实用新型专利
(21)申请号 CN201120575286.8 (22)申请日 2011.12.31
(71)申请人 宁波科论太阳能有限公司
地址 315111 浙江省宁波市鄞州区五乡镇工业园区(宁波科论太阳能有限公司)
(10)申请公布号 CN202401161U
(43)申请公布日 2012.08.29
(72)发明人 钟平
(74)专利代理机构 杭州金源通汇专利事务所(普通合伙)
代理人 唐迅
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
连续直拉单晶炉
(57)摘要
本实用新型公开了一种连续直拉单晶
炉,包括副室、热屏和炉腔,其中在炉腔中设有热屏支撑板、保温层、加热器、石英坩埚、石墨坩埚和排气口,所述石英坩埚中设有硅熔体,在硅熔体上方设有一两端开口的罩体,罩体上端与副室连接,罩体下端开口与硅熔体液面保持一段距离,其特征是所述热屏包括断热材、热屏罩和反射板,热屏罩覆盖于断热材的外侧,断热材的内侧设有反射板,反射板环绕硅晶棒,反射板与断热材之间无缝隙,在热屏上方两侧各设有一导流
管,所述导流管形成倒圆台的结构,在石英坩埚与石墨坩埚之间设有石墨纸。本实用新型得到的连续直拉单晶炉,整体设计结构合理、简单,提高产品拉晶速度及浓度,延长石墨坩埚的使用寿命,降低了成本及功耗。 法律状态
法律状态公告日2012-08-29 2016-02-24
法律状态信息
授权 专利权的终止
法律状态
授权
专利权的终止
权利要求说明书
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说明书
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