纳米氧化铁粉体的溶胶-凝胶法制备

第３　２卷第５期　压电与声光　Ｖｏ１．３２　Ｎ０．５　２ＯｌＯ年１０Ｒ　ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳ　Ｏｃｔ．２０１０　文章编号：１００４—２４７４（２０１０）０５—０８２７—０３　纳米氧化铁粉体的溶胶一凝胶法制备　伍媛婷，王秀峰，李二元，李清春　（陕西科技大学材料科学与工程学院，陕西西安７１００２１）　摘要：以硫酸亚铁为原料，柠檬酸为螫合剂，通过溶胶一凝胶法制备Ｆｅ　０。纳米粒子，采用Ｘ一射线衍射（ＸＲＤ）　和差重一热重（ＴＣ￣ＤＴＡ）分析研究了Ｆｅｚ０。晶相的形成过程，用扫描电镜（ＳＥＭ）对所制得粉体的表面形貌进行了　分析。结果表明，煅烧温度应高于５２０℃，所制备纳米粉体为ａ—Ｆｅ　０。，为球形颗粒，Ｆｅ。０。粉体粒度随煅烧温度的　升高而增大，煅烧温度为６００　Ｃ时，可获得３０　ｎｍ的　—Ｆｅ。０。颗粒，粉体颗粒大小均匀，分散性好。　关键词：硫酸亚铁；氧化铁；溶胶一凝胶；柠檬酸　中图分类号：ＴＱ１３８．１＋１　文献标识码：Ａ　Ｓｏｌ－Ｇｅｌ　Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｆｅ２　０３　Ｎａｎｏｐｏｗｄｅｒｓ　ＷＵ　Ｙｕａｎｔｉｎｇ，ＷＡＮＧ　Ｘｉｕｆｅｎｇ，ＬＩ　Ｅｒｙｕａｎ，ＬＩ　Ｑｉｎｇｃｈｕｎ　（Ｓｃｈｏｏｌ　ｏｆ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　Ｓｃｉｅｎｃｅ＆Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｓｈａａｎｘｉ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｓｃｉｅｎｃｅ＆Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ．Ｘｉ’ａｎ　７１００２１．Ｃｈｉｎａ）　Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｗｉｔｈ　ｆｅｒｒｏｕｓ　ｓｕｌｆａｔｅ　ａｓ　ｓｔａｒｔｉｎｇ　ｍａｔｅｒｉａｌ　ａｎｄ　ｃｉｔｒｉｃ　ａｃｉｄ　ａｓ　ｃｈｅｌａｔｉｎｇ　ａｇｅｎｔ，Ｆｅ２　Ｏ３　ｎａｎｏｐｏｗｄｅｒ　ｗａｓ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｚｅｄ　ｂｙ　Ｓｏｌ—Ｇｅｌ　ｍｅｔｈｏｄ．Ｔｈｅ　ｅｖｏｌｕｔｉｏｎ　ｏｆ　Ｆｅ２　Ｏ３　ｃｒｙｓｔａｌ　ｐｈａｓｅ　ｗａｓ　ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ　ｂｙ　ＸＲＤ　ａｎｄ　ＴＧ－ＤＴＡ．Ｔｈｅ　ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ　ｏｆ　Ｆｅ２　Ｏ３　ｎａｎｏｐｏｗｄｅｒｓ　ｗａｓ　ｓｔｕｄｉｅｄ　ｂｙ　ＳＥＭ．Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ　ｒｅｓｕｌｔｓ　ｓｈｏｗｅｄ　ｔｈａｔ　ｔｈｅ　ａｎｎｅａｌｉｎｇ　ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ　ｍｕｓｔ　ｂｅ　ｈｉｇｈｅｒ　ｔｈａｎ　５２０　Ｃ．Ｔｈｅ　Ｆｅ２　Ｏ３　ｐａｒｔｉｃｌｅｓ　ｃｏｎｓｉｓｔｅｄ　ｏｆ　ａ～Ｆｅ２　Ｏ３　ｏｎｌｙ，ａｎｄ　ｔｈｅ　ｇｒａｉｎ　ｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙ　ａｐｐｅａｒｅｄ　ｗｉｔｈ　ｓｐｈｅｒｉｃａ１．Ｔｈｅ　ｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ　ｓｉｚｅ　ｉｎｃｒｅａｓｅｄ　ｗｉｔｈ　ｔｈｅ　ｉｎｃｒｅａｓｉｎｇ　ｏｆ　ａｎｎｅａｌｉｎｇ　ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ．Ｔｈｅ　ｐａｒｔｉｃｌｅ　ｓｉｚｅ　ｗａｓ　ａｂｏｕｔ　３０　ｎｍ　ｗｉｔｈ　ｇｏｏｄ　ｄｉｓｐｅｒｓｉｏｎ　ｗｈｅｎ　ｃａｌｃｉｎｅｄ　ａｔ　６００　Ｃ．　Ｋｅｙ　ｗｏｒｄｓ：ｆｅｒｒｏｕｓ　ｓｕｌｆａｔｅ；Ｆｅ２　Ｏ３；Ｓｏｌ—Ｇｅｌ；ｃｉｔｒａｔｅ　氧化铁作为一种重要的工业原料和产品，其性　１．２粉体制备　能和制备研究一直得到人们的广泛关注。ａ　Ｆｅ。Ｏ。、　将烧杯依次用质量分数１５％的盐酸、去离子水　￣－Ｆｅ　０。、ａ—ＦｅＯＯＨ、Ｆｅ。Ｏ　等具有实用价值。其中　在超声波中洗涤。以去离子水与无水乙醇混合物作　ａ—Ｆｅ。Ｏ。是铁氧化物中最常见的一种，属半导体材　溶剂（体积比为３：２），将质量分数分别为８．３　～　料，禁带宽度２．２　ｅＶＩ】］。纳米氧化铁具有良好的耐　９．２　、１．１　～１．５　、１．８　～２．３　的柠檬酸、硫酸　候性、耐光性、磁性，且对紫外线具有良好的吸收和　亚铁和聚乙二醇加入溶剂，磁力搅拌溶解以配制前　屏蔽效应，可广泛应用于涂料、催化剂、气敏材料、闪　光材料、油墨、塑料、电子、高磁记录材料及生物医学　驱物，在８０～８５℃水浴蒸发至湿凝胶，１３０。Ｃ条件　等方面　］。　下干燥发泡以获得干凝胶，凝胶在一定温度下煅烧　如何制备高纯、超细、均匀的纳米氧化铁已成为　而得氧化铁粉体。　研究的热点。制备纳米氧化铁的方法较多，主要有　１．３性能表征　’　溶胶一凝胶（Ｓｏｌ—Ｇｅ１）法ｌ＿５］、水热法ｌ６］、微乳液法、固相　在热分析仪上（ＳＴＡ４０９ＰＣ）测定粉体的差重一　法、沉淀法和水解法　等。本文采用柠檬酸为络合　热重（ＴＧ—ＤＳＣ）分析曲线，用Ｘ一射线衍射（ＸＲＤ）仪　剂的新型Ｓｏｌ—Ｇｅｌ法，以硫酸亚铁为原料，制备了纯　（Ｄ／ｍａｘ一２２ｏｏＰＣ）测定不同煅烧温度下氧化铁粉体　度高，分散性好的球形纳米ａ－Ｆｅ。０ｓ。　的晶型及成分，用光学显微镜（ＣＭＭ一５５Ｅ）观察干凝　１　实验　胶的形貌，用扫描电子显微镜（ＪＳＭ一６７００Ｆ）测定氧　１．１实验原料　化铁粉体的形貌和粒径。　硫酸亚铁：ＦｅＳＯ　・７Ｈ。０，分析纯；柠檬酸　２　结果与讨论　Ｈ　ｏ７・Ｈ２Ｏ，分析纯；聚乙二醇６　０００：ＨＯ　（ＣＨ　ＣＨ。０）　Ｈ，化学纯，平均分子量为５　５００～　２．１干凝胶的形貌　７　０００；无水乙醇：ＣＨ。ＣＨ　ＯＨ，分析纯；去离子水。　图１为干凝胶的光学显微照片。由图可知，湿　收稿Ｅｔ期：２００９—０５—２０　基金项目：陕西省教育厅科研计划基金资助项目（ｏ９ＪＫ３６２）；陕西省自然科学基金资助项目（２００９ＪＭ６ｏ０８）；陕西科技大学自选科学基金资　助项目（ｚｘ０８一ｌＯ）　作者简介：伍媛婷（１９８１一），女，江西赣州人，讲师，博士生，主要从事柔版显示器件用二氧化钛纳胶囊的制备与性能的研究。　８２８　压电与声光　２０１０焦　凝胶经干燥后发泡，其体积增大几倍，干凝胶是类似　泡沫状的疏松的三维脆性物质。进一步分析可知，　干凝胶是三维多孔的网络结构，孔与孔之间拉成丝　阶段为１５０￣４５０。Ｃ，此过程样品质量损失最大（为　６５％），略高于干凝胶中柠檬酸质量分数的理论计算　值，可推断此阶段主要是柠檬酸的降解及硫酸根的　状进行连接。　图１干凝胶的光学显微照片（×４００）　２．２　ＸＲＤ分析　图２为干凝胶在４５０℃、６００℃煅烧后所得粉　体的ＸＲＤ图谱。由图可知，煅烧温度为４５０℃时，　衍射峰中２　为３Ｏ．２６。、３５．５８。、６３．０３９。处对应于　Ｆｅ２Ｏ３（７－Ｆｅ２Ｏ３　３９－１３４６），２０为３３．２４。、３５．５８。特征　峰对应于ａ－Ｆｅ２Ｏ３（ａ－Ｆｅ２Ｏ３　３３－０６６４），另外在２　为　２０．２６。、２４．６２。、２９．６６。和３２．５８。处均出现了吸收峰，　其位置与ＪＣＰＤＳ标准粉末衍射卡（Ｆｅ　Ｏ。２１—０９２０）　的衍射峰的位置一致。可以确定４５０℃煅烧所得样　品为Ｆｅ　Ｏ。，但其晶型组成较复杂。煅烧温度为　６００℃时，所有特征峰位置与标准粉末衍射卡（ａ—　Ｆｅ　０。３３－０６６４）的衍射峰的位置完全一致，可以确　定样品为口一Ｆｅ２Ｏ３。　（１０４）　ｌ（１】　Ｏ）　Ｉ　４　．ｌ　。ＩＩ　　６ｏ０℃：　。。　，　２ｏ／（。）　图２不同焙烧温度下Ｆｅ　Ｏ３粉体的ＸＲＤ图　２．３　ＴＧ－ＤＳＣ分析　图３为前驱体样品的ＴＧ—ＤＳＣ曲线。由图可　看出，在升温过程中存在明显的４个阶段。ａ阶段　为室温～１５０℃，此过程样品不存在质量损失，这是　由于干凝胶经１３０℃干燥过程，排除吸附水及醇；ｂ　热分解引起　州；Ｃ阶段为４５０～５２０℃，此过程ＴＧ　曲线出现１０　的失重，与干凝胶中聚乙二醇质量分　数的理论计算值基本一致，即对应聚合物碳链骨架　的降解口叩；当温度高于５２０℃时，ｄ阶段有一个很宽　的放热峰，结合ＸＲＤ可知，此时其他Ｆｅ。Ｏ。晶相转　变为ａ—Ｆｅ　Ｏ。，相应ＴＧ曲线失重较少，说明此晶相　转变过程是一个渐变过程。　．—＿｝　：：　・　：ｂ　一一　ａ。　　皂　旨　！　、——　———’　温度，℃　图３干凝胶ＴＧ－ＤＳＣ分析曲线　２．４　ＳＥＭ分析　由图３中ＴＧ曲线可看出，高于５２０℃时粉体　质量基本不变，即实际煅烧温度应高于此温度，以便　排除干凝胶中的所有有机物和ａ—Ｆｅ　Ｏ。的合成。图　４为经６００　ｏＣ、７２０℃煅烧后所得粉体的ＳＥＭ照　片。由图可知，经６００　ｏＣ煅烧后所得粉体为３０　ｎｍ　的球形颗粒，粒径分布均匀，分散性好。经７２０℃煅　烧后所得粉体仍为球形颗粒，但是当粒径增大至　１００　ｎｍ，团聚较严重。由此可知，氧化铁颗粒粒　径随煅烧温度的升高而增大。　’　（ａ）６００℃　（ｂ）７２０℃　图４不同煅烧温度下Ｆｅ。Ｏ。粉体的ＳＥＭ照片　结合图３分析可知，煅烧温度应高Ｔ５２ｏ℃，为　得到更小粒径的纳米ａ—Ｆｅ　ｏ。粉体，煅烧温度应尽　量靠近５２０℃，但如果温度太低，则在１５０～５２０℃　第５期　伍媛婷等：纳米氧化铁粉体的溶胶一凝胶法制备　８２９　区间内应放慢升温速率，特别是１５０～４５０。Ｃ范围　内，以便排除有机物及硫酸根。　［４］张欣，吕鹏程，许毓春．掺铜氧化铁陶瓷负阻特性的研　究［Ｊ］．压电与声光，２０００，２２（２）：１１１－１１３．　ＺＨＡＮＧ　Ｘｉｎ，ＬＶ　Ｐｅｎｇｃｈｅｎｇ，ＸＵ　Ｙｕｃｈｕｎ．Ｉｎｖｅｓｔｉｇａ—　３　结束语　（１）以硫酸钛为原料，柠檬酸为络合剂及发泡　剂，通过溶胶一凝胶法首先获得疏松的三维网络干凝　胶，进一步煅烧可制备出分散性好的球形纳米　Ｆｅ。Ｏ。粉体．粒径约为　３０　ｎｉＴｌ。　（２）结合ＸＲＤ和ＴＧ—ＤＳＣ得出，在整个煅烧过　ｔｉｏｎ　ｏｎｎｅｇａｔｉｖｅ　ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ　ｃｈａｒａｃｔｅｒｓ　ｏｆ　Ｆｅ２　Ｏ３　ｄｏｐｅｄ　ｗｉｔｈ　ＣｕＯＥＪ］．Ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｓ　８Ｌ　Ａｃｏｕｓｔｏｏｐｔｉｃｓ，２０００，２２　（２）：１１１－１１３．　ｒ５］ＰＲＩＴＡ　Ｐ　Ｓ，ＢＨＡＮＵＤＡＳ　Ｎ，ＧＨＯＳＨ　Ｎ　Ｎ．Ｌｏｗ　ｔｅｍ—　ｐｅｒａｔｕｒｅ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ｏｆ　ｓｉｎｇｌｅ－ｐｈａｓｅ　—Ｆｅ２　Ｏ３　ｎａｎｏ—ｐｏｗ—　ｄｅｒｓ　ｂｙ　ｕｓｉｎｇ　ｓｉｍｐｌｅ　ｂｕｔ　ｎｏｖｅｌ　ｃｈｅｍｉｃａｌ　ｍｅｔｈｏｄｓ［Ｊ］．　程，干凝胶的失重达６５　，煅烧温度必须高于　Ｐｏｗｄｅｒ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，２００９，１９２（３）：２４５　２４９．　５２０℃，当煅烧温度为４５０。Ｃ时，所得晶体为　ｒ６］　ＤＩＡＭＡＮＤＥＳＣＵ　Ｌ，ＭＩＨＡＩＬＡ　Ｔ　Ｄ，ＰＯＰＥＳＣＵ　Ｐ　Ｎ，　Ｆｅ。Ｏ。，但晶相较复杂；当煅烧温度为６００。Ｃ时，可　ｅｔ　ａ１．Ｈｙｄｒｏｔｈｅｒｍａｌ　ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ａｎｄ　ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｓｏｍｅ　ｐｏｌｙｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ　ｉｒｏｎ　ｏｘｉｄｅｓ［Ｊ］．Ｃｅｒａｍｉｃｓ　Ｉｎｔｅｒｎａ—　获得纯ａ—Ｆｅ２Ｏ３。　ｔｉｏｎａｌ，１９９９，２５（５０：６８９—６９２．　（３）对比不同煅烧温度下ａ—Ｆｅ。Ｏ。粉体的ＳＥＭ　ｒ７］ＬＩＡＯ　Ｘ　Ｈ，ＺＨＵ　Ｊ　Ｊ，ＺＨＯＮＧ　Ｗ，ｅｔ　ａ１．Ａ　ｎｏｖｅｌ　ｔｅｃｈ—　照片得出，煅烧温度为６００℃时获得３０　ｎｍ的球形　ｎｉｑｕｅ　ｂｙ　ｔｈｅ　ｃｉｔｒａｔｅｐｙｒｏｌｙｓｉｓ　ｆｏｒ　ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ｏｆ　ｉｒｏｎ　ｏｘ—　ａ—Ｆｅ　ｏ。粉体，粉体分散性好；煅烧温度为７２０℃时　ｉｄｅ　ｎａｎｏｐａｔｉｃ１ｅｓ［Ｊ］．Ｍａｔｅｒ　Ｌｅｔｔ，２０００，７７（２）：２０７—２０９．　获得１００　ｎｍ大小的粉体，粉体团聚严重。　［８］　张枫，徐庆，陈文，等．ＢｋＳｒ　一　ＴｉＯ。的ＥＤＴＡ一柠檬酸　参考文献：　法合成与电性能研究［Ｊ］．压电与声光，２００７，２９（１）：　７１—７６．　ｒ１］　ＺＨＡＮＧ　Ｚ，ＢＯＸＡＬＩ　Ｃ，ＫＥＬＳＡＬＩ　Ｇ　Ｈ．Ｐｈｏｔｏｅｌｅｅ一　ＺＨＡＮＧ　Ｆｅｎｇ，ＸＵ　Ｑｉｎｇ，ＣＨＥＮ　Ｗｅｎ，ｅｔ　ａ１．ＥＤＴＡ－　ｔｒｏ　ｐｈｏｒｅｓｉｓ　ｏｆ　ｃｏｌｌｏｉｄａｌ　ｉｒｏｎ　ｏｘｉｄｅｓ　１．ｈｅｍａｔｉｔｅ（口一　ｃｉｔｒｉｃ　Ｍｅｔｈｏｄ　Ｓｙｎｔｈｅｓｉｓ　ａｎｄ　Ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ　Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　Ｆｅ２Ｏ３）［Ｊ］．Ｃｏｌｌｏｉｄｓ　Ｓｕｒｆ　Ａ，１９９３，７３：１４５　１６３．　Ｂａ　Ｓｒ１一　ＴｉＯ３［Ｊ］．Ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｓ＆Ａｃｏｕｓｔｏｏｐｔｉｃｓ，　［２］　ＺＨＩ　Ｘ　Ｗ，ＹＡＮ　Ｑ　Ｘ，ＨＡＩ　Ｙ　Ｌ，ｅｔ　ａ１．Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ　ａｎｄ　２００７，２９（１）：７１－７６．　ｃａｔａｌｙｔｉｃ　ａｃｔｉｖｉｔｉｅｓ　ｏｆ　ＬａＦｅ０３　ａｎｄ　Ｆｅ２　Ｏ３　ｆｏｒ　Ｈ　ＭＸ　ｔｈｅｒ—　ｒ９］　ＡＮＤＲＩＡＮＡＩＮＡＲＩＶＥＬＯ　Ｍ，ＣＯＲＲＩＵ　Ｒ　Ｊ　Ｐ，ＬＥ－　ｍａｌ　ｄｅｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ［Ｊ］．Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｈａｚａｒｄｏｕｓ　Ｍａｔｅｒｉ—　ＣＬＥＲＣＱ　Ｄ，ｅｔ　ａ１．Ｎｏｎｈｙｄｒｏｌｙｔｉｃ　Ｓｏｌ—Ｇｅｌ　ｐｒｏｃｅｓｓ：ａｌｕ—　ａｌｓ，２００９，１６５（１－３）：１０５６—１Ｏ６１．　ｍｉｎｕｍ　ｔｉｔａｎａｔｅ　ｇｅｌｓ［Ｊ］．Ｃｈｅｍ　Ｍａｔｅｒ，１９９７，９（５）：　１０９８—１　１０２．　［３］　ＺＨＥＮＧ　Ｗ，ＬＩ　Ｚ　Ｙ，ＺＨＡＮＧ　Ｈ　Ｎ，ｅｔ　ａ１．Ｅｌｅｃｔｒｏｓｐｉｎ—　ｎｉｎｇ　ｒｏｕｔｅ　ｆｏｒ　ｄ—Ｆ。２　Ｏ３　ｃｅｒａｍｉｃ　ｎａｎｏｆｉｂｅｒｓ　ａｎｄ　ｔｈｅｉｒ　ｇａｓ　［１ｏ］ＬＡＴＴＩＭＥＲ　Ｒ　Ｐ．Ｐｙｒｏｌｙｓｉｓ　ｍａｓｓ　ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ　ｏｆ　ａ　ｃｒｙｌｉｃ　ａｃｉｄ　ｐｏｌｙｍｅｒｓ［Ｊ］．Ｊ　Ａｎａｌ　Ａｐｐｌ　Ｐｙｒｏｌｙｓｉｓ，２００３：　ｓｅｎｓｉｎｇ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ［Ｊ］．Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ　Ｂｕｌｌｅｔｉｎ，　６８—６９：３—１４．　２００９，４４（６）：１４３２一ｌ４３６．　（上接第８２２页）　２６３．　参考文献：　［４］　ＣＺＥＲＭＡＮ　Ｍ，ＴＲＩＦ０Ｎ０Ｖ　Ｉ　，ＫＡＴ０ＮＡ　Ｇ，ｅｔ　ａ１．　Ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎ　ｏｆ　ＲＦ　ｓｐｕｔｔｅｒｅｄ　ＣｒＳｉＯ　ｔｈｉｎ　ｒｅｓｉｓｔｏｒ　ｆｉｌｍｓ　［１］罗山，张正元．ＣｒＳｉ薄膜电阻退火条件的优化广Ｊ］．微电　ＥＪ］．Ｖａｃｕｕｍ，１９９０，４（２）：２０—２３．　子学，２００８，（３）：３１６－３１９．　ＬＵＯ　Ｓｈａｎ，ＺＨＡＮＧ　Ｚｈｅｎｙｕａｎ．Ｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎ　ｏｆ　ＣｒＳｉ　［５］　ＷＩＬＳＯＮ　Ｃ　Ｌ，Ｅｌ　ＬＩＳ　Ｃ　Ｒ，ＳＡＵＮＡＳ　Ｌ　Ｓ．Ｎｂ　ｏｘｉｄｅ　ｒｅｓｉｓｔｏｒ　ａｎｎｅａｌｉｎｇ　ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓ［Ｊ］．ＭｉｅｒｏｅＩｅｃｔｒｏｎｉｃｓ，　ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍ　ｒｅｓｉｓｔｏｒｓ［Ｊ］．ＩＥＥＥ　Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ　ｏｎ　Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｖｉｔｙ，１９９９，９（２）：１３—１８．　２００８，（３）：３１　６－３１９．　清华大学出　［６］　ＬＥＥ　Ｂ　Ｊ，ＰＡＲＫ　Ｇ　Ｂ，ＫＩＭ　Ｊ　ＩＩ．Ｔｈｅ　ｅｆｆｅｃｔ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｃ２］　李言荣，恽正中．电子材料导论［Ｍ］．北京：ｐｒｏｃｅｓｓ　ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ　ｏｎ　ｔｈｅ　ｅｌｅｃｔｒｉｃａｌ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ｏｆ　Ｎｉ－　版社，２００１：８９—１２２．　Ｃｒ－Ｓｉ　ａｌｌｏｙ　ｔｈｉｎ　ｒｅｓｉｓｔｏｒ　ｆｉｌｍｓ［Ｒ］．Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ　ｏｎ　Ｅｌｅｅ—　［３］　ＭＡ０　Ｄａｌｉ，ＷＡＮＧ　Ｊｉｍｉｎ，ＺＨＡＮＧ　Ｌａｍｉｎｇ，ｅｔ　ａ１．　ｔｒｉｃａｌ　Ｉｎｓｕｌａｔｉｏｎ　ａｎｄ　Ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ　Ｐｈｅｎｏｍｅｎａ（ＣＥＩＤＰ），　Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ　ｔａｒｇｅｔ　ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｄ　ｂｙ　ｖａｃｕｕｍ　ｉｎｄｕｃｔｉｏｎ　Ａｎｎｕａｌ　Ｒｅｐｏｒｔ，２００２．　ｍｅｌｔ　ｍｅｔａｌｌｕｒｇｙ　ａｎｄ　ｉｔｓ　ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ　ｆｏｒ　ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ　ｄｅｐ—　ｏｓｉｔｉｏｎ　ｏｆ　ｔｈｉｎ　ｆｉｌｍ　ｒｅｓｉｓｔｏｒｓ　ｗｉｔｈ　ｈｉｇｈ　ｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙ［Ｊ］．　［７］　李晓云．金属膜电阻器稳定性研究［Ｄ］．天津：天津大　学，２００３．　Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｆｕｎｃｔｉｏｎａｌ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，１９９８，２９（３）：２６０一