（12）发明专利申请
（21）申请号 CN200810086928.0 （22）申请日 2008.03.28
（71）申请人 东京毅力科创株式会社
地址 日本东京都
（10）申请公布号 CN101277578A
（43）申请公布日 2008.10.01
（72）发明人 佐藤贤司
（74）专利代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 刘春成
（51）Int.CI
H05H1/46; H01L21/00;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
等离子体处理装置、高频电源的校正方法、高频电源
（57）摘要
本发明提供一种等离子体处理装置、高频
电源的校正方法和高频电源。该等离子体处理装置设置有：高频电源(200)，其具有能够将高频电力的电力设定值与偏移值作为数字数据输入的接口单元(204)，根据电力设定值和偏移值调整目标电力输出值，并从电力输出端子(202)输出与该目标电力输出值相应的高频电力；处理室(300)，其
经由匹配器(104)被供给经由同轴电缆(102)传送的高频电力；和电源控制单元(400)，其在校正高频电源时，根据电力设定值与匹配器的输入电力的值的差值求取偏移值，通过将电力设定值与偏移值数字传送至高频电源的数据输入端子，以使匹配器的输入电力的值成为电力设定值的方式控制高频电源的输出电力。
法律状态
法律状态公告日
2008-10-01 2008-11-26 2012-05-23
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
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公开
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权利要求说明书
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说明书
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