专利名称：分子束外延生长设备蒸发部件专利类型：外观专利
申请号：CN202030104581.X申请日：20200325公开号：CN306130131S公开日：20201027
专利附图：
申请人：国成仪器(常州)有限公司
地址：213000 江苏省常州市常州西太湖科技产业园祥云路6号
国籍：CN
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