专利名称:基于压电效应的高精度高场强电容式微型电场测量
传感器件
专利类型:发明专利
发明人:胡军,薛芬,何金良,杨钧清,王善祥,张波,曾嵘申请号:CN201811243890.3申请日:20181024公开号:CN109212328A公开日:20190115
摘要:一种基于压电效应的高精度高场强电容式微型电场测量传感器件,包括压电薄膜层,所述压电薄膜层的下方附着有上电极层,所述上电极层通过支撑层实现支撑,所述上电极层的下方设有固定参考层,所述固定参考层与阻抗检测装置电连接,所述上电极层通过电极引导柱与阻抗检测装置电连接。其有益效果是:具有较大的电场测量范围、较高的响应和灵敏度,以及可调控的线性度,除了工业生产大型电器设备的实时监控,还能够满足电网稳态运行监测及过电压故障暂态信号的识别等需求。
申请人:清华大学
地址:100084 北京市海淀区清华园一号
国籍:CN
代理机构:天津市尚仪知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人:高正方
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