专利名称：靶材冷却装置专利类型：实用新型专利发明人：何文,薛超,吴龙江,林宗贤申请号：CN201822066979.9申请日：20181210公开号：CN209243163U公开日：20190813
摘要：该实用新型涉及一种靶材冷却装置，包括：密封盖，安装至靶材基板，用于在所述靶材基板表面形成密闭空间；流体泵，连通至所述密闭空间，用于向所述密闭空间内泵入流体，或抽出所述密闭空间内的流体，以冷却所述靶材。本实用新型的靶材冷却装置在靶材基板表面形成了密闭空间，并使用一流体泵连通至所述密闭空间，往密闭空间内通入流体或泵出流体，使用流体对靶材进行冷却。进一步的，还设置有与所述靶材基板的表面相接触的水袋，通过水袋中盛装的水的较大比热容，也能对靶材起到一定的冷却作用。使用该靶材冷却装置，能够避免使用水冷方式对靶材进行冷却时对靶材、磁铁和管路的影响，能够优化物理气相沉积机台的生产效能。
申请人：德淮半导体有限公司
地址：223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
国籍：CN
代理机构：上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：孙佳胤
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