JEM-100CX Ⅱ透射电镜操作说明
一、开机程序
1、 首先打开房间空调，冷却循环水房温度
21 度，操作室 25 度
ON，再将按下 POWER键
2、 开启冷却水循环装置，一个独立的小的控制器，先将开关打至 3、 启动稳压电源，稳定于 220V；查看电源箱供电指示灯亮
4、 用钥匙启动主机，从 OFF档位旋到 START位，松开后钥匙自动回到 ON位置。仪器自动 抽真空，
等待约 40 分钟。
5、 直至 DP绿灯亮， HIGH绿灯亮， READY绿灯亮（若不亮的话，将 LENS LIGHT打至 ON档 位）。 二、电子枪合轴（ 1-3 合轴） 1、 确认 READY绿灯亮
2、 把样品拨出，物镜光栏拨出至 0 档位
3、 加高压：按下 HT 键后，依次按下 40-60-80-100KV 键，并注意观察束流表是否正常，每 次都要等电
流表显示稳定之后再进行下一步，一般调到
4、 加灯丝：将 FILAMENT EMIISSION旋钮缓慢旋至锁定位置
5、 一般在 SCAN（ 5300 倍）条件下调节，调节 CONDENSE钮R，得到光斑。
6、 SPOTS IZE调到 3 档，调节 CONDENSE钮R聚光，得到最小最亮光斑， 然后用左右
ALIGNMEN：T TRANS（小的）将光斑拉至最中心位置（中心位置有一黑点）
。
80KV 就行了。
7、 SPOTS IZE调到 1 档，调节 CONDENSE钮R聚光，得到最小最亮光斑， 然后用 GUNA
LIGNMEN：T TRANS（ X、Y）将光斑拉至中心位置。 8、 再重复 6、7 步骤，使束流不偏离中心。 三、调灯丝相（每次开机都需要检查） 1、 在 SCAN模式下， SPOT SIZE 调到 1 档
2、 将 FILAMENT EMIISSION旋钮稍稍往回调，到看到灯丝欠饱和像，即车轮像（鱼眼像）
若车轮像不对称，则进行下面调节。
3、 缓慢旋转 GUN ALIGNMEN：TTILT （X、Y），使灯丝像对称。
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，
4、 然后调节 FILAMENTE MIISSION 旋钮至灯丝饱和（即刚好全亮，没有阴影） ，并锁定该位 置。 四、粗对焦（该步很重要）
1、 关灯丝（ FILAMENT EMIISSION旋钮至 OFF）后，插入样品，插入物镜光栏（ 2 档） 2、 开灯丝（ FILAMENT EMIISSION旋钮至 ON）后，放大光斑至满屏（以免烧坏铜网） 3、 找到样品，并选中一目标为参照
4、 将 IMAGEW OBBLE打R 至 ON，此时看到样品会有一定的晃动，调节 FOCUS旋钮（有大中小
三个，一般只用到中和小）至图像清晰没有重影。 五、聚光镜对中调节
1、关灯丝后，拨出样品，拨出光栏，开灯丝，缩小光斑，检查是否在中心位置，
2、在 SCAN模式， SPOTS IZE 1 档情况下，将 CONDA LIGNMENT打到 ON，然后下面一 WOBBLER
键打到 X，以调节光斑重合， 同样的方法进行 Y轴对中调节， 调节完毕之后打到中间 OFF 档。 3、将 IMAGE WOBBLE键R打到 ON，调节 IMAGE WOBBLER、 A B旋钮至重合。 六、电流中心调节（此步调节有一定的难度）
1、插入样品，插入光栏，找到一样品做为参照物，调节时放大倍数小于 2、用目镜观察，聚焦，找准参照物，用
FOCUS调焦至最清晰
5 万倍
3、快速反复转动 FOCUS旋钮（以最清晰位置为中心前后旋转） ，此时观察参照物样品的情况， 如有放
大缩小的情况（看到样品是以某点为中心在旋转）那就是正常的，若是样品有左 右或者上下移动的现象，就需要调节 七、电压中心调节
1、在第六步的基础上，放大倍数（大于 2、找到一参照物，调焦至最清晰
3、HVW OBBLE置R 于 ON，若参照物不偏离中心而四周同心振动，则电压中心良好，反之，若 参照物
有漂移，则用左右 ALIGNMENT： TILT 调节 八、光栏的调节
1、聚光镜光栏调节：判断光栏是否在中间位置，调节
CONDENSE时R，光斑不在中间，放大
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ALIGNMENT的大旋钮， TILT 钮直至正常。
5 万倍）
时会有很大阴影 （电子束被东西挡住） ，移动样品时也没有改变， 此时可以断定是光栏位 置不正确，通过调节光栏上两个旋钮，使光栏回到中心位置。
2、物镜光栏调节：打开 FUNCTION：SADIFF（控制台 D区，与 SCAN一排的一个按钮） ，调节
SA/HD DIFFRACTION：CAMERA LENG（TH控制台 B区）和物镜光栏上的两个旋钮，使得中 间最亮点周围的一圈较暗的光斑变得对称即可。 九、聚光镜像散调节
在没有放入样品的情况下： 插入聚光镜光栏 （2 档），SPOTS IZE 调至 3 档，调节 CONDENSER 钮至光斑最小最亮，再调节 CONDS TIGMATORX、 Y旋钮（控制台 F 区），使得光斑变得最 圆，即完成聚光镜像散调节。
十、物镜像散调节（用于高倍下观察样品的调节）
1、在完成以上调节，即确认仪器对中状态良好，电压中心对中，无聚光镜像散，光栏位置 正确的情况下
进行物镜像散调节。
2、插入物镜光栏， 在观察样品的时候调节， 在高倍下（大于 10 万倍）找到一样品作为参照， 改变焦
距，观察样品边沿系统是否均匀，若有像散，则进行以下操作。
3、配合调节 OBJ STIGMATO：R X、 Y旋钮（控制台 E区）和 FOCUS旋钮，消除像散。 十一、样品装卸操作
1、确认样品装卸时机器状态：放大倍数调至较小倍数，灯丝发射至
OFF档。
2、右边的旋转手柄有四个档位： 空档位、 SET、AIRLOCK、ENG，观察样品的时候一定在 SET 档位，
ENG档位用来换样品，当需要打开左边的样品室时，一定要放置在 空档位只是做一个过渡。
3、左边的样品室旋转手柄上有两种标识，一种是数字（
1-6 ），另外间于数字中间的是一些
AIRLOCK档位，
点，当数字对正时，可以用右边的旋转手柄把相应的样品从样品室中取出。当需要打开 样品室换下一批样品时，要保证所有的样品都留在样品室，这样就要让数字中间的点对 正，再将右边的旋转手柄拉出。
4、当右边旋转手柄置于 AIRLOCK档位时可以打开样品室，左边有一能上下扳动的把手。 十二、关机程序
1、放大倍数降至小于 1 万倍，光斑满屏。
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2、退灯丝至 OFF
3、退高压，可直接按下 20KV按扭，再按高压键 HT（灯灭）。
4、钥匙旋至 OFF，等待约 15 分钟，面板上所有的灯都熄灭，机械泵停止工作，关冷却水装
置，关稳压电源，关电源开关。
附：有些表述只是尽我所理解， 描述得不是很清楚， 有不当之处请大家提出指正， 共同学习。
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