专利名称：一种硅片废切割液的提纯方法专利类型：发明专利发明人：杨涛,米伟勋,杨振东申请号：CN201310665244.7申请日：20131209公开号：CN103617951A公开日：20140305
摘要：本发明公开了一种硅片废切割液的提纯方法，包括以下步骤：根据硅片废切割液中切割液含量的不同，加入水温度为30—50℃的蒸汽冷凝水，配制切割液的质量百分比为35%—45%的总处理液；然后加入助剂，搅拌均匀后，通过气动隔膜泵打入固液分离装置进行固液分离，通过固液分离装置获得的滤饼以及残渣用蒸汽冷凝水清洗，并且用压缩空气吹干，如此反复几次；对固液分离得到的液体通过蒸馏装置蒸发掉所含的大部分水分，蒸发温度控制在80—130℃，蒸发时间为100—120min，得到主要成分为聚乙二醇的回收切割液。本发明提高了回收切割液的回收率和回收效率，进而减少了资源的浪费；改善了回收切割液的性能，更有利于硅片的切割加工。
申请人：天津惠利科技有限公司
地址：301500 天津市宁河县现代产业区海航东路5号
国籍：CN
代理机构：天津市鼎和专利商标代理有限公司
代理人：李凤
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