电镀铜工序工艺规程

电镀铜工序工艺规程

修订 日期 2011/03/30 批准：

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电镀铜工序工艺规程

1 目的

为规范电镀铜操作，确保产品生产品质 2 范围

单面、双面及多层板均适应 3职责

操作执行：生产部 操作监督：工程、品管部 药水化验：品管部

药水添加：工程部、生产部、品管部 设备维护保养：生产部 设备维修：工程部、设备供应商 4 材料、设备和工具 4.1材料

硫酸铜、硫酸、盐酸、铜阳极、镀铜光亮剂、除油剂ST401DP、SPS 4.2设备、工具

铜缸、整流器、过滤机、摇摆机、空气搅拌机 5引用文件

无 6工艺规程 6.1工艺流程

工序 上挂具 除油 水洗(1) 水洗(2) 微蚀 水洗(3) 水洗(4) 温度 无 30-35℃ 室温 室温 25-30℃ 室温 室温 时间 无 4-6分钟 5-20秒 5-20秒 60-90秒 5-20秒 5-20秒 打气 无 无 适中 适中 适中 适中 适中

酸浸 镀铜 下挂具 6.2流程说明

室温 18－30℃ 无 1-10分钟 10-20分钟 无 无 适中 无 6.2.1上挂具：上挂具时双手戴干净的白纱手套,锁板时夹住板的周边,不要进入线路图形部

位,管位螺丝适当拧紧即可。

6.2.2除油：清除板面上的油污及指纹,为下一步均匀微蚀作准备。

6.2.3微蚀：清洁粗化铜面,除掉板面氧化物及杂物,使之得到一个化学清洁的微观粗糙的表

面,提高电镀铜与基材铜的结合力。

6.2.4浸酸：除掉铜面上的氧化膜及活化铜表面,并能减少杂质的带入量,防止铜缸污染。 6.2.5镀铜：采用直流电镀方法在铜面及孔内沉积5－15um铜厚,保证层与层之间电气导通的可靠性。

6.3槽液成份及操作条件 缸名 除油 （500L） 微蚀 (500L) 开缸成份 ST401D4：10% H2SO4：5% Na2S2O8：70g/L H2SO4：2% 控制范围 8-12% 4-6% 60-90g/L 1-3% Cu≤30g/L 2＋操作条件 温度 30-35℃ 25-30℃ 补充 方法 化验 添加 化验 添加 时间 4-6分钟 换槽频率 200㎡/次 60-90秒 当Cu2+≥30g/L时换槽 更换微蚀槽时连同酸洗槽一起更换 浸酸 (500L) H2SO4：6% 5-8% 1-10分钟 化验 添加 18－CuSO4：75g/L 铜缸 60-90g/L 30℃ 5-20分钟 阴极摆动：15-20次/分 连续过滤，连续空气搅拌 ST404DP： 300ml/ 1000A/H 其它成份化验添加 1000㎡/活性碳处理一次 5000㎡/盘槽一次 H2SO4：200g/L 180-220g/L 电流－(2600L) CL：60ppm ST404DP：4‰ 40-80PPM 2-5‰ 密度：30ASF 7操作规程

7.1生产前先检查各水阀是否处于正常状态，各槽液位是否足够。

7.2取样分析各槽液成份，根据化验结果调整至标准范围。 7.3检查过滤机、摇摆、空气搅拌装置是否运作正常。 7.4上槽前先擦洗阴、阳极杆，保证导电良好。

7.5板子上槽后将管位螺丝拧紧，然后开启电流，电流一般调在稳压状态，其电流大小依生

产制作单要求执行。

7.6电镀铜完成后，先关闭电流，再取下挂具清洗。 8设备维护与保养

8.1每天对镀铜前处理槽取样分析，根据化验单补加药水，补加药水时双手戴防护胶手套，

以防腐蚀性药液灼伤皮肤。

8.2每天上班时检查整流器，过滤器，摇摆机、空气搅拌装置是否正常，发现故障及时维修。 8.3每天清洁阴阳极杆，保证导电良好；若停槽12小时以上，生产前需先弱电解20分钟，

电流密度5ASF，每块拖缸板50A的电流。

8.4每周清洗过滤棉芯一次，2个月更换/次。

8.5每周检查阳极消耗情况，低于液面5cm时补加铜球，铜球添加前先用3-5%的稀硫酸浸泡

10分钟。

8.6阳极袋口需高出液面3-5cm，如有破损及时更换。

8.7每两个月对槽液进行一次活性碳过滤，并对阳极进行清洗，活性碳过滤后更换新的棉芯，

新棉芯使用前用5% H2SO4浸泡15分钟，漂洗干净后方可装入。

8.8每半年对槽液进行一次活性碳大处理。 9相关记录表格

9.1槽液分析/调配通知单

槽液分析/调配通知单

试验项目： 生产线： 通知单号： 日期：

槽号 成份 含量 要求值 结论 补充药品 数量 单位 调配者 备注 化验员： 校对：

9.2 药水添加更换记录表

工艺工程师： 药水添加更换记录表

日期

药水品名 添加量 添加人 备注

9.3设备日常维护记录

设备日常维护记录

部门： 工序： 序号： 设备名称 型号 油、水、气通道 设备编号 年 月 日 项目 安全 装置 日期 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 调节器 过滤器 传动部位 滑动部位 防锈处理 卫生清理 其它 签名

23 24 25 26 27 28 29 30 31 注：无此项，请从横格的左下角至右上角画一条斜线“/”，已做项目，请打“√”，未有的保养项目请在其它里面填写。