专利名称:一种微纳复合结构二氧化钛薄膜的制备方法专利类型:发明专利发明人:高立国,王亚威申请号:CN201510258061.2申请日:20150519公开号:CN104874384A公开日:20150902
摘要:本发明涉及一种微纳复合结构二氧化钛薄膜的制备方法,属于光催化技术领域。其特征是以微纳复合结构为基底,采用化学生长的方法在其表面制备一层二氧化钛薄膜。其步骤包括:首先,在商用单晶硅的表面制备微纳复合结构,用作二氧化钛薄膜的基底;其次,在微纳复合结构基底表面制备一层二氧化钛种子层,在种子层的基础上通过水热合成进一步生长一层二氧化钛薄膜;最后,对二氧化钛薄膜进行煅烧处理得到具有一定晶型的二氧化钛薄膜。本发明的效果和益处是制备的二氧化钛薄膜表面结构复杂、比表面积大、催化效果好,与基底连接性能强,可重复利用并且催化效果无明显下降,有利于拓展二氧化钛薄膜在光催化治理污染方面应用。
申请人:大连理工大学
地址:116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
国籍:CN
代理机构:大连理工大学专利中心
代理人:梅洪玉
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