集成电路制造企业安全文化建设的探索

工艺与制造Process and Fabrication集成电路制造企业安全文化建设的探索徐永飞（上海华虹宏力半导体制造有限公司，上海 201203）摘要：集成电路制造工艺的特性，制程中的扩散、离子植入、化学气相沉积、蚀刻和光刻等工序中所使用的危险化学品，大多具有易燃性、可燃性、有毒性、腐蚀性等危害特性，给生产中带来了火灾、爆炸、中毒等潜在的高安全风险。成功的集成电路制造企业安全文化主要体现在健全的安全管理体制、有效的安全措施与制度的建设，以及通过各种方式培养员工警钟长鸣的“安全第一”的意识形态，这一点尤为重要。养成安全的思维方式、行为准则、道德观以及价值观等比硬性的规定更有长远的效用。关键词：集成电路制造；安全管理体制；制度建设中图分类号：TN405 文章编号：1674-2583(2018)08-0048-04DOI：10.19339/j.issn.1674-2583.2018.08.013中文引用格式：徐永飞.集成电路制造企业安全文化建设的探索[J].集成电路应用, 2018, 35(08): 48-51.Exploration of Safety Culture Construction for Integrated Circuit Manufacturing Enterprises XU Yongfei ( Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Co., Ltd, Shanghai 201203, China.) Abstract: Because of the characteristics of integrated circuit manufacturing process, the hazardous chemicals used in the process of diffusion, ion implantation, chemical vapor deposition, etching and lithography are mostly combustible, combustible, toxic and corrosive, which bring high safety risks, such as fire, explosion and poisoning. Successful IC manufacturing enterprise safety culture is mainly reflected in the construction of safety management system, effective safety measures and systems. It is particularly important to cultivate the \"safety first\" ideology of employees' alarm bells through various ways. It is more effective to develop a safe way of thinking, a code of conduct, moral values and values than rigid rules. Key words: IC manufacturing, safety management system, system construction 1 引言能造成重大财产损失，国内外有众多事故案例。谈到安全，就难免让人想起媒体报道的火灾、矿一家成功的集成电路制造企业安全文化必然体难等事故场景。灾难让人们身心受到伤害。然而，很现在有健全的安全管理体制、有效的安全措施与制多时候火灾的起因仅仅是因为一根随意丢弃的烟头，度的建设，以及通过各种方式培养员工警钟长鸣的矿难的缘由也仅仅是某一环节的疏忽，在一个有很多“安全第一”的意识形态，这一点尤为重要。养成化学物品使用的集成电路制造企业，因集成电路制造安全的思维方式、行为准则、道德观以及价值观等工艺的特性，制程中的扩散、离子植入、化学气相沉比硬性的规定更有长远的效用。积、蚀刻和光刻等工序中所使用的危险化学品，大多集成电路制造企业文化和安全文化建设。集成具有易燃性、可燃性、有毒性、腐蚀性等危害特性，电路技术是“国之重器”，随着半导体集成电路芯给生产中带来了火灾、爆炸、中毒等潜在的高安全风片在高铁、汽车、金融、物流、通信、家电、网络险，生产中一旦发生泄漏或操作异常，以及生产厂房等方面广泛应用，芯片逐渐成为信息化、智能化的中洁净室的密闭效果，除了导致人员伤亡外，甚至可物联网的基础，满足人民美好生活日益增长的需求基金项目：上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金（2015.150223）。作者简介：徐永飞，上海华虹宏力半导体制造有限公司，研究方向：集成电路制造的安全管理。收稿日期：2018-06-25，修回日期：2018-08-03。48 集成电路应用 第 35 卷 第 8 期（总第 299 期）2018 年 8 月 Process and Fabrication 工艺与制造的“智能米粒”。2 构建“以人为本的创芯与绿色同行”的良好形象集成电路制造企业面对生产中存在的安全风险，社会公众对高科技企业，特别是集成电路芯片制如何去管控好，乃至消除其风险。要求其企业跟随时造企业的认识和评价，是直接关系到企业的社会形象代发展，走健康、和谐、可持续发展之路，推动和构和竞争能力、生存能力能否持续、稳定发展的大事。筑安全与健康的企业安全文化体系基础，通过有效的作为产品销往世界各地，并全领域应用的集成电路制管理网络、监督体系、培训和宣传等手段使安全文化造型企业，如何塑造自己的企业形象和精神，是集成与整个企业文化体系融为一体。在经营活动中推广安电路制造企业必须研究的重要课题。全的发展理念，将安全生产工作由原先的靠制度约束构建“以人为本的创芯与绿色同行”的良好社提高到文化浸润的高度去认识，依靠安全文化的潜移会形象，既是由集成电路制造企业特征所决定的，也默化作用，提高全体员工的安全意识和整体安全文化是企业的健康、和谐、可持续发展的必然趋势。集成素养，让“我要安全”、“我会安全”贯穿于生产经电路制造生产线 24 小时全天候运转，全年 365 天无营活动中的每一个过程、每一个环节，树立“以人为休，操作员工实行倒班运转制，而且是在一个恒温恒本的创芯与绿色同行”的良好企业形象，倡导“本质湿的超洁净度作业环境进行生产作业。在单调、紧张安全”，以增强企业的抗风险能力和竞争能力。的作业环境中，稳定的情绪和高度的责任心是安全生集成电路制造企业大都确立了以企业愿景、企产的保证。保证来自企业对员工的爱护、关心、信任业使命和企业精神为核心的企业文化。企业文化建设和尊重。企业按照员工进企业长短建立年休假制度，会涉及传播与学习、制度与执行、评估与奖励三大块为先进员工提供疗休养；每逢节假日，企业高层、部领域，通过广泛开展企业文化知识培训、典型人物宣门主管要经常慰问长病假、困难员工和技术骨干，送传、制作海报宣传册、建立企业文化评奖、征集企业上组织的关怀和温暖。同时由部门做好对每一名员工文化卡通形象、制度改进、企业文化价值观小故事征的生日慰问；为婚丧病困的员工进行了慰问。特别是集等活动，确保企业文化建设工作有序推进，不断深集成电路企业人员组成以年轻人为主，企业青年组织入，保证企业愿景、企业使命和企业精神观逐渐植根要积极开展一系列如白领牵手、青年联谊会等有益活于每位员工心中。动，为青年们搭建沟通交流的桥梁，处处体现职工之作为企业文化重要组成部分的安全文化建设，“家”的文化精神，促进和谐企业的发展，形成具有就是要以“以人为本”为主旨，所谓“以人为本”是特色的“以人为本”的企业安全文化。以人性为本，不是以人情为本；以大家为本，不是以集成电路制造过程中对环境质量的要求很高，整我为本。具体说就是安全、健康、环保第一；互相信个制造都在洁净厂房内完成（洁净厂房要求：一般温任，尊重个人；注重培训与职业发展；人尽其才，才度 23℃，湿度 45%），生产中要使用上百种化学试尽其用；员工满意，乐在工作；终身学习，头脑开剂及特殊气体，几乎每道工序均要使用超纯水或高纯放。其中“安全、健康、环保第一”就是我们工作的试剂清洗硅片。生产过程中产生大量的废水、废气、前提，就是确保企业内所有人安全（包括员工、客废弃物等污染物。因此，集成电路制造企业就要百分户、供应商等），确保员工的职业健康、确保对环境之百必须是绿色的生产，安全的生产，不但不能污染的保护，做负责任、有价值的企业公民。安全是通过环境，还应为员工提供安全、健康、和谐的工作环您的行为对人的生命的尊重。高层管理者要有安全承境。为达到这些目的，企业要根据“高精技术、超洁诺，要让员工直接参与，从小事做起创造企业的安全净度”的生产工艺特点，提出“以人为本的创芯与绿文化[1]。色同行”的理念，在创造高科技和高质量的芯片的同因此，集成电路制造企业安全文化建设在企业生时，始终尊重和保护人与环境，全力推行清洁生产，产经营活动中有着非比寻常的意义。不但要在公众中从管理、工艺技术、设备与物料选用、预防与控制、树立良好的创芯与绿色同行、安全生产的社会形象，污染物治理等各个环节上采取一系列有效、可行的措“以人为本”、“安全、健康、环保第一”的安全文施，很好地贯彻了以“安全第一、员工安康、预防为化氛围逐步形成，注重安全、关心安全、人人参与的先、源头控制、保护环境、节能减排、遵守法规、持安全文化建设成为一种风气和时尚，而且企业员工能续改进为主旨的清洁生产。自觉地维护企业的安全形象，自觉规范自己的安全行集成电路制造企业所构建的以人为本的“创芯与为，用安全生产的理念和行动保障公司的发展，用企绿色同行”的清洁生产就是向企业每一位员工和社会业安全文化为企业的经济增长保驾护航。公众所做的安全承诺。因此，“创芯与绿色同行”既集成电路应用 第 35 卷 第 8 期（总第 299 期）2018 年 8 月 49工艺与制造Process and Fabrication是集成电路制造企业长期不懈奋斗的目标，又是企业立安全诚信定期约谈制度，签订《安全管理协议》，最好的安全文化形象标志。提交《安全教育证明》（图 2），签约率 100%。。企业要以完善的制度建设为保证，在安全环境管3 坚持不懈地大力推进“本质安全化”建设众所周知，事故的主要原因是人的不安全行为和物的不安全状态。“人的本质安全化”和“物的本质安全化”是预防事故的最有效的手段。集成电路芯片生产对工艺环境有着非常严格的要求，是在超洁净度作业环境中进行生产，生产中需要使用上百种化学药液和特殊气体。因此，芯片制造现场存在一定安全环境风险，为消除或控制该风险，集成电路制造企业图 2 建立安全责任制度就要构建以人为本的安全、健康、和谐的本质安全化理体系和安全生产标准化的基础上建立了金字塔形框的工厂，自觉遵守国家法规，采用风险管理方法，以 架的安全环境管理文件体系，包括安全环境体系管理OHSAS18000 职业健康安全管理体系/ ISO14001 环境管手册、管理程序、各单位部门安全作业操作指导书，理体系/ QC080000 有害物质管理体系、安全生产标准通过管理文书电子化，共享在企业内网上，来方便员化等为载体，着力构建公司安全组织体制，逐级落实工随时查阅和巩固安全管理各项规章制度。安全责任制，健全安全管理制度，固化安全交流与沟企业要以多层面的沟通会议为载体，固化安全交通形式，强化安全教育培训，加大隐患排查和整改，流形式，形成公司安委会季度例会、厂区安全月度例保证安全投入有效实施，保障设备本质安全，践行安会、安全部门周例会制度，定时召开会议，研究讨论全应急体系，借力“安康杯”劳动竞赛活动, 确保了工安全工作，及时解决安全问题，专人跟踪落实。员工厂安全、稳定、优质量、满负荷的生产运营，确保了不仅可在安全例会上建言献策，而且可在每半年安全员工安康和企业的可持续安全发展（图 1）。沟通会上，直接面对公司经管高层充分沟通。企业要以设置先进的安全防灾技术措施为保障，实现设备本质安全。安装的气体检测仪分布在每一个气柜、每一个排风系统，任何一个地方的泄露都会发出联动警报并自动切断气源。安装的灵敏度是普通烟感的一千倍的超高感度烟检测器，甚至微量渗漏散发的酸雾也能探测到。设备机台、化学品供应全部实现全自动化、全信息化运行管理，运行实时数据、历史图 1 风险管理与可持续发展趋势、报警信息集中显示。 企业要以组织建设为先导，成立安全健康环境企业要以隐患排查和治理为抓手，倡导人人是安委员会，每季度召开安全会议，企业高层管理者，特全卫士，坚持开展全员参加、全方位实施的，以部门别是党政一把手亲自参加，审查企业安全生产工作计自查、FAB 互查、安全督查；领导带头查、回头查、划与实施、重大安全生产技术项目、安全生产投入情暗查为方式，以厂商作业和设备故障诊断为重点的隐况，研究讨论企业重大安全环境事项、国内外安全环患排查和整改的活动。制定年度（三年）安全行动目境形势及对策。标，每年设立专项安全技改基金，确保设备达到本质企业要以责任体系构建为切入点，严格落实“一安全的要求。岗双责、党政同责” 和“谁主管、谁负责”的原则，企业要以信息化为手段严格控制各类化学品的使建立属地化管理责任制，设立年度安全生产管理目用和保管。通过成立化学品审查委员会，建立化学品标，形成按职级从企业高层管理者、中层管理者、基使用和保管电子化流程和化学品仓库储存品种数量动层管理者至员工的“纵向到底”；按职能覆盖到所有态监控预警系统及化学品使用数据库。无论是生产上单位、部门、员工的“横向到边”的安全责任体系。使用的化学药液或气体，还是在保洁及绿化养护过程企业要以全面签署《安全责任书》和《安全承诺中需用的清洁剂、化肥都得到了有效管理，实现了从书》为手段，按条线部门逐级落实安全责任，《安全采购、使用、保管、废弃等全过程管控。承诺书》签署范围覆盖全员，包括外单位常驻人员。企业要以控制初期灾害为准则建立完备的应急此外，企业还与到企业施工作业、提供服务的厂商建突发事件灾害的救援系统，成立企业应急抢险组织和50 集成电路应用 第 35 卷 第 8 期（总第 299 期）2018 年 8 月 Process and Fabrication 工艺与制造AED 急救队伍，坚持灾害发生时人员撤离与组织救灾的、标准的事故汇报程序和事故调查流程。并重的原则，按照国家应急预案要求建立“1+4+N”（3）针对员工心理易波动的时间、事件，及时帮公司安全应急预案体系（即综合预案1份+专项预案4份助员工平静情绪，调整心理，让其集中精力做好工作。“火灾；气体泄漏；化学品泄漏；自然灾害”+现场处通过创造一种良好的安全人文氛围和生产中协调的人际置方案，设备应急处置卡若干份）。坚持应急训练与关系，对人的观念、意识、态度和行为形成从无形到有实战结合的原则。每年定期开展应急预案演练；每年形的影响，使安全观念深入人心，全面提高安全意识，组织以一线人员为主的应急训练，强化应急抢险指挥培养全员安全文化。员的临场处置能力培训。通过训练，努力达到初期灾（4）开展主动找隐患(危险源的识别与消除)活害应急响应 3 分钟就位，黄金急救 3 分钟响应处置的动，要求每一个员工都参加，找出本单位、部门（岗目标。条件成熟的话，因地制宜推进园区、各工厂之位）最危险的部位在哪里并及时参与整改。活动中开展间、跨区域的联合应急训练，实现了 3 分钟内抢险联“安全班组”、“安全先进个人”、“安全卫士“的评动、支援到位的目标（图 3）。比，适时通报相关问题和提出工作要求。（5）对现有内部网的利用还可拓展，通过相对稳定的、畅通的企业安全信息反馈网络，将不同层面、不同岗位员工对企业安全文化的意见和建议快速、客观地反馈到企业安全管理部门，以便尽早做出相应的反应；其次应建立企业安全文化档案，这对积累企业安全文化建设过程中成功的经验和失败的教训，记录重要历程，图 3 黄金救援 3 分钟帮助找准工作最佳结合点都是非常必要的。5 结语4 安全文化建设在于循序渐进、不断提高在集成电路制造企业安全文化建设中，企业安全成功的企业安全文化能通过点滴小事的积累和文文化建设是一个深层次的人因工程的开发，是安全管理化要素的渗透，使员工在不知不觉中产生自主约束倾的升华，是理性的、系统安全管理的基础。它要求企业向和潜在准则，当这种约束和准则普遍被大多数人所采用更加系统的观点和安全文化的理念，用安全文化的认同的时候，就标志着企业员工自觉规范自我、约束方式，塑造出符合时代要求的、具有企业特色的安全文自我的局面初步形成[2,3]。化。只有企业各级领导干部和安全管理人员带头学习和建立相对完善的企业安全文化体系如同建立其掌握企业安全文化理论，提高安全科技文化水平，明确他文化体系一样，也是一个循序渐进、不断提高的过安全文化建设的战略意义和现实意义，切实将员工凝聚程，为了更深入地进行安全文化建设，集成电路制造在企业自我发展、自我完善的文化氛围中，全力推进企企业经常要以主题活动为抓手，以点代面，以活动推业安全文化建设，才能推动企业健康、和谐、持续地安动安全工作，逐步创造良好的安全环境。全发展。总之，安全文化建设不是一蹴而就的事情，要（1）安全问题涉及全员，为进一步推广和深化安不断提高，持续创新和丰富。只有得到高层领导的承诺全理念，以员工身边不安全事实为反面教材，深刻剖和重视，制订周密的规划，形成强有效的运行机制，着析每一起事故的原因，使员工深切感受不安全带来的力创建自己的安全文化活动形式，并持续改进，才能形惨痛代价，从“要我安全”变成“我要安全”和“我成与时俱进，不断丰富和繁荣的集成电路制造企业安全会安全”的意识，并成为共识。通过宣传，将警钟长文化，保障打造“国之重器”的集成电路制造企业安全鸣转化成员工的自觉的检查、自觉的纠正安全问题的长久发展。行动，而非“让我难堪”。（2）树立善于发现并汇报“事故隐患”是对自参考文献己、他人、单位负责的责任意识，主动报告“未遂事[1] 安全管理体系和安全管理、企业文化教材[M].上故”是员工相互提醒和避免事故的有效途径。实施中海华虹宏力半导体制造有限公司，2010.不仅要及时表扬与奖励优秀者，还应巧用奖惩措施，[2] 杨基滨.论企业安全文化及其建设[D].北京：中国如主动实施奖励等，主动实施奖励使“公司花钱在笑地质大学（北京）,2006.声里、员工得奖于守纪中”，能起到正面的激励和导[3] 杨燕. 企业安全文化及其建设的理论评述[D].北向作用。为配合奖罚的公正公平性，还应建立统一京：首都经济贸易大学,2009. 集成电路应用 第 35 卷 第 8 期（总第 299 期）2018 年 8 月 51