（12）发明专利说明
（21）申请号 CN201810074402.4 （22）申请日 2018.01.25
（71）申请人 北京大学东莞光电研究院
地址 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区沁园路17号
（10）申请公布号 CN108336201B
（43）申请公布日 2020.01.17
书
（72）发明人 李成明;王琦;张国义
（74）专利代理机构 广州粤高专利商标代理有限公司
代理人 罗晓林
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种新型图形化衬底
（57）摘要
本发明公开了一种新型图形化衬底，包括
衬底，所述衬底上外延生长有核心层和包层，包层包覆在核心层外，包层与核心层保持同一高度或者不同高度，核心层和包层都至少设置一层，当核心层和包层设置两层或者两层以上时，不同的核心层的高度、形状相同或不同，不同的包层的高度、形状相同或者不同。本发明能够沿核心层向外，逐步加工出具有不同晶格、不同热膨胀系数以及应力应变系数的多层材料，根据需要做
多种选择，可以得到小曲率半径、高质量外延层，对于光电子器件的发展，具有重要意义。
法律状态
法律状态公告日
2018-07-27 2018-07-27 2018-07-27 2018-08-21 2018-08-21 2020-01-17
法律状态信息
公开 公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
法律状态
公开 公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权
权利要求说明书
一种新型图形化衬底的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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