专利名称：物理量传感器及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：蒋永刚,通口行平,滨田浩幸,前中一介申请号：CN201180028701.0申请日：20110622公开号：CN103003679A公开日：20130327
摘要：本发明提供一种能同时检测多个物理量的物理量传感器及其制造方法。整体上具有可挠性或者柔性的物理量传感器（100）具备：基板（1）；电极层（2），其形成在基板（1）上；压电元件（3a）和压电元件（3b），并列设置在电极层（2）上；电极层（4a、4b），分别在压电元件（3a、3b）上形成；保护层（5a、5b、5c、5d、5e），用于保护电极层（2）、压电元件（3a、3b）以及电极层（4a、4b）。另外，第一物理量检测部（6）包括基板（1）、电极层（2）、压电元件（3a，第一压电元件）、电极层（4a，第三电极层）以及保护层（5a、5b、5c、5d、5e）；第二物理量检测部（7）包括基板（1）、电极层（2）、压电元件（3b，第二压电元件）、电极层（4b，第四电极层）。
申请人：独立行政法人科学技术振兴机构
地址：日本埼玉县川口市
国籍：JP
代理机构：北京北翔知识产权代理有限公司
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