专利名称:高纯砷的生产方法专利类型:发明专利发明人:张世才,杨华民申请号:CN200610039541.0申请日:20060413公开号:CN101054168A公开日:20071017
摘要:高纯砷的生产方法。涉及一种半导体基础材料超高纯α型砷的生产方法。本发明采用了以下几个步骤:首先是将砷和铅按1∶1.5~4的比例形成铅砷合金;然后,通过将铅砷合金在真空环境中通过加热进行分离,制得纯度为99.999%砷和铅砷合金;再将上述砷在氢气氛中升华制得纯度为99.99999%的砷。本发明综合了铅熔池法和氯化精馏还原法的优点,并克服了它们的缺点。提出先形成砷铅合金,再从砷铅合金中把砷升华分离出来,分离出的砷在氢气氛中升华得到纯度为7N砷;与本发明的生产方法配套的专用合成坩埚、真空罐、锥形筒、氢气氛石英升华管,成本低,投资少,其性能保证了本发明在产业化生产中投资小、产能高、成本低、质量好。
申请人:张世才,杨华民
地址:677500 云南省临沧市太平街20号
国籍:CN
代理机构:北京连和连知识产权代理有限公司
代理人:李海燕
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