一种钛酸锶钡修饰二氧化钛薄膜氢气传感器的制备方法

（12）发明专利说明

（21）申请号 CN201610864969.2 （22）申请日 2016.09.29 （71）申请人 湖北大学

地址 430062 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号

（10）申请公布号 CN106525914B

（43）申请公布日 2019.04.05

书

（72）发明人 夏晓红;邓梦杰;高云;黄忠兵;王卓

（74）专利代理机构 武汉河山金堂专利事务所(普通合伙)

代理人 丁齐旭

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种钛酸锶钡修饰二氧化钛薄膜氢气传感器的制备方法

（57）摘要

本发明提出了一种钛酸锶钡纳米颗粒修饰

二氧化钛薄膜氢气传感器及制备方法，采用磁控溅射法、旋涂法和水热法相结合，通过调控旋涂钛酸锶钡纳米颗粒的尺寸和分散性来实现对二氧化钛薄膜表面的修饰。在FTO衬底上用磁控溅射法制备二氧化钛籽晶层，用水热法在有籽晶层上制备二氧化钛薄膜，再采用旋涂法将预先用水热法制备的钛酸锶钡纳米颗粒旋涂在二氧化钛薄膜的表面，每步制备后进行退火处理，最后用磁控

溅射法在其表面制备金属铂电极。经钛酸锶钡纳米颗粒修饰的二氧化钛薄膜室温下氢气探测的灵敏度显著提高。本发明制备成本低，方法简单易操作，制得的氢气传感器在室温下对氢气探测灵敏度高，重复性好，稳定性好，可广泛应用于氢气新能源领域。

法律状态

法律状态公告日2017-03-22 2017-03-22 2017-04-19 2017-04-19 2019-04-05

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

一种钛酸锶钡修饰二氧化钛薄膜氢气传感器的制备方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

一种钛酸锶钡修饰二氧化钛薄膜氢气传感器的制备方法的说明书内容是....请下载后查看