部门：生产部扩散 填表人： 审核: 日期：2009.03.23 No. E05
N/A/P/C/项次 对象地点 活动/产品/服务 环 境 因 素 环境影响 现场管制/监控方式 E F 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 车间 车间 设备区 工序全过程 清洁 维修 照明 扩散生产 使用一次性手套后丢弃 用电 硅片报废 使用无尘布、毛巾后废弃 使用无水乙醇 使用离子水 废水排放 更换设备零部件 坏日光灯管废弃 使用抽风 使用冷却水 使用真空 使用N2、O2、H2 使用压缩空气 使用特气 A N A A N N N A A N N N N N N C C C C C C C C C C C C C C C 固体废弃物 能源消耗 固体废弃物 固体废弃物 资源消耗 资源消耗 水质污染 固体废弃物 危险固体废弃物 能源消耗 能源消耗 能源消耗 资源消耗 能源消耗 资源消耗 废物回收处理 提高利用率 废物回收处理 垃圾处理 提高利用率 提高利用率 废水处理 废物处理 废物处理 提高利用率 提高利用率 提高利用率 提高利用率 提高利用率 提高利用率 版次:1.0 备注 编号：FM-64-001 备注： N-正常作业 A-异常作业 E-紧急/意外事件 P-过去 C-现在 F-将来
环境因素调查表
项次 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 对象地点 测试区 扩散检验区 炉管清洗区 活动/产品/服务 硅片测试 检片 石英清洗 环 境 因 素 使用B、P等液态掺杂源 使用TEOS 使用三氯乙烷 掺杂源的排空 三氯乙烷的使用后排空 CVD尾气排放 尾气水解 拆洗尾气管道残渣丢弃 更换密封圈后丢弃 更换石英件后丢弃 设备风机运转 更换炉体后丢弃 扩散源气泄漏 膜厚仪废纸丢弃 真空的使用 使用压缩空气 N/A/E N N N N N N N A A A N A E A N N P/C/F C C C C C C C C C C C C C C C C 环境影响 资源消耗 资源消耗 资源消耗 空气污染 空气污染 空气污染 水体污染 固体废弃物 固体废弃物 固体废弃物 噪音 固体废弃物 空气污染 固体废弃物 能源消耗 资源消耗 现场管制/监控方式 提高利用率 提高利用率 提高利用率 尾废气处理 尾气处理 废气处理 废水处理 垃圾处理 垃圾处理 废物回收处理 超标防护 废物回收处理 抽风 垃圾处理 提高利用率 提高利用率 版次:1.0 备注 编号：FM-64-001 备注： N-正常作业 A-异常作业 E-紧急/意外事件 P-过去 C-现在 F-将来 环境因素调查表
项次 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46
编号：FM-64-001 对象地点 毒气柜区 活动/产品/服务 特气柜 环 境 因 素 用水 使用化学药品 化学药品挥发 N2使用 废酸排放 废液排放 使用N2 使用抽风 特气泄漏 N/A/E N N N N A N N N E P/C/F C C C C C C C C C 环境影响 资源消耗 资源消耗 空气污染 资源消耗 水体污染 水体污染 资源消耗 能源消耗 空气污染 现场管制/监控方式 提高利用率 提高利用率 抽风 提高利用率 废水处理 废水处理 提高利用率 提高利用率 抽风 备注 备注： N-正常作业 A-异常作业 E-紧急/意外事件 P-过去 C-现在 F-将来 版次:1.0
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容