专利名称:一种新型半导体芯片及其制作工艺专利类型:发明专利
发明人:汪良恩,李建利,汪曦凌申请号:CN201911364142.5申请日:20191226公开号:CN110943122A公开日:20200331
摘要:本发明公开一种新型半导体芯片及其制作工艺,包括正多边形的基盘,所述基盘的中心处蚀刻出圆形芯片,所述圆形芯片的边沿与基盘之间蚀刻出一圈环形沟道,所述环形沟道内钝化有玻璃。本发明采用设计成圆形芯片的版图,再通过扩散、光刻、蚀刻、钝化、保护等工艺技术,制成具有圆形芯片的高可靠性,同时可以利用刀片切割的低加工成本等优点半导体芯片,而且钝化玻璃位于沟道内,半导体芯片表面平整,稳定性和安全性高。
申请人:安徽芯旭半导体有限公司
地址:247100 安徽省池州市经济技术开发区凤凰大道98号
国籍:CN
代理机构:上海华诚知识产权代理有限公司
代理人:章胜强
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