专利名称：一种晶体硅太阳能电池的扩散工艺专利类型：发明专利发明人：励小伟,梁海,赖儒丹申请号：CN201810706918.6申请日：20180702公开号：CN109103081A公开日：20181228
摘要：本发明公开了一种晶体硅太阳能电池的扩散工艺，包括以下步骤：S1.扩散炉预热并通氮气；S2.进舟，保持扩散炉的温度在750～780℃，同时通氮气；S3.通氧气、氮气，氧气与硅片表面的硅反应生成一层二氧化硅层；S4.第一次沉积三氯氧磷；S5.第二次沉积三氯氧磷，磷源浓度较步骤S4提高；S6.升温扩散推进；S7.高温下，第三次沉积三氯氧磷；S8.高温推进结深；S9.降温退火；S10.退舟。本发明沉积磷时，先低浓度后高浓度升温，采用递增渐变式进行扩散，有利于提高电池片的电性能，减小扩散极差。
申请人：浙江启鑫新能源科技股份有限公司
地址：315613 浙江省宁波市象山县经济开发区滨海工业园
国籍：CN
代理机构：广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
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