plasma清洗的工作原理，比如纯氧气体清洗水印的！
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plasma即等离子，其清洗原理为：射频电源在一定的压力情况下，在真空腔体中产生高能量的无序等离子体，然后等离子体轰击在被清洗产品的表面，以达到清洗目的。
等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子，处于激活状态的中性原子、分子、原子团，离子化的原子、分子，未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。
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等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子表面处理仪（plasma surface treatment）,是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。 等离子清洗机(plasma cleaner)
1.等离子体基础知识： 等离子体和固体、液体或气体一样，是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子体表面处理仪就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。 2.等离子清洗原理：[1] 等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四中状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。 等离子清洗/刻蚀技术是等离子体特殊性 .....
